MKS发生器 HMPSS-MKS

概述

HMPSQ-MKS高功率微波等离子体源具有蓝宝石等离子体管，可与6kW微波发生器结合使用，用于能够在多种工艺气体中点燃的高浓度自由基，适用于广泛的应用，例如高通量光刻胶去除，高级表面清洁和调节，以及原子级的高级沉积应用。高功率微波等离子体源可与 6kW 微波发生器结合使用，以实现高浓度的自由基，从而提供高生产率的制造解决方案。高功率微波等离子体源能够在广泛的工作范围内在多种工艺气体中点火，在当前和新兴应用中具有性能优势，例如高通量光刻胶去除，高级表面清洁和调节，以及原子级的高级沉积应用。高功率微波等离子体源非常适合与 MKS 微波等离子体系统一起使用，该系统由 MKS 微波发电机、波导组件和先进的 SmartMatch® 智能匹配单元组成。这款新型微波等离子体源采用高效现场可更换等离子体涂覆器设计，可提供最佳的拥有成本优势。

产品系列概述

高功率微波等离子体源

技术规格

类型微波等离子体源

等离子管材料蓝宝石

工作频率2.44 -2.47千兆赫

最大功率6 千瓦

工作压力1-10 托

总气体流量1-10 毫升

最小水流量0.50 加仑/分钟，最低 37 psid

波导WR284

波导法兰连接CPR284F 带螺栓

进水口连接3/8 英寸世伟洛克®

出水口连接3/8 英寸世伟洛克®

紫外灯的电气要求24 伏直流电，1.0 安培

燃气管路连接4 个录像机男

尺寸18.52 x 4.5 x 6.32 英寸

重量18 磅