AZBIL紧凑型数字质量流量控制器 F4H

该装置是一种高性能紧凑型数字质量流量控制器，具有先进的设备功能。

它具有高速和宽范围的流量控制和1%SP精度。由于电源与信号电路隔离，电源噪声不会影响模拟信号。

它实现了高噪声容限。

紧凑的设计

F4H 型号比我们的传统型号小 50%。

有效利用数字通讯

通过 F4H 型的通讯，可以上传很多对故障诊断有用的信息。
还配有智能设备网关（NX-SVG型），F4H型可与主要可编程逻辑控制器进行通信。

高噪声耐受性

信号电路与电源隔离。
由于此功能，来自电源线的噪声对信号没有影响。

降低总成本

通过从模拟连接切换到与 PLC 的数字连接，可以取消模拟 I/O 模块。

应用

PVD（物理气相沉积）

MFC 向腔室供应氩气以产生等离子体。