ROTAREX调节阀RX1000

ROTAREX调节阀RX1000

RX1000 是用于 HP 和 UHP 应用的隔膜式压力调节器。调压阀有两个版本：标准版和高流量版。

主要优势

执行100%功能和氦气泄漏测试

提供高流量 （HF） 版本 （Cv：0.2）

哈氏合金®隔膜

洁净室中的组装，测试和包装：ISO 4级

单独的序列号，实现完全可追溯性

电解抛光表面粗糙度符合 SEMI F19 UHP 等级

内部容积低

316L VAR® 不锈钢双熔体，每个 SEMI F20 选件可选

在低源压力下具有出色的性能

流体专用阀座材料作为标准选件

其他多端口选项

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建筑材料

  部件 材料

接液部件 身体 SS 316L， 无功

座位 PCTFE（PVDF，VESPEL®可选）

隔膜 哈氏合金®

锥 不锈钢 316L

春天 不锈钢 316L

弹簧支架 不锈钢 316L

非接液部件 帽子 黄铜

手轮 铝

别人 不锈钢和合金

表面光洁度

S V U

Ra 0.4 μm （15 μin） Ra 0.25 μm EP （10 μin） Ra 0.13 微米 EP （5 微英寸）

额定流量 （QR（1）） / 出口压力 （P2）

P2 （酒吧） 二维零（1） 二维码（1） （SLPM） 高频

2 40 80

4 90 200

7 160 350

10 220 500

（1） 根据 CGA-E4

所有规格如有更改，恕不另行通知。